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4D位置敏感探测器(4D PSD)

4D位置敏感探测器(4DPSD)分辨率达到纳米级别的4DPSD可独立探测区分光束位置漂移和角度漂移。此4DPSD位敏探测器,采用两个2DPSD探测器与相关光学元件的有机组合,能够严格探测区分光束的位置漂移与角度漂移,分辨率达到nm级别。

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