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高精度微型振镜/压电扫描镜

高精度微型振镜/压电扫描镜该系统是一个完整的光束控制系统。在紧凑的体积(直径12mm)中包含压电马达、位置传感器、轴承以及内置控制器。在微型振镜上安装了一个镀铝膜的镜子,每秒可旋转1100°,精度可达到0。025°。

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