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超小型平移台(亚微米,15mm,已集成电路)

AU-M3-LS系列位移平台,是一款集动力系统、位置传感器和控制器于一身的微型位移平台。其中动力系统采用目前很小的压电SQL-RV-1.8压降直线微电机(2.8x2.8x6mm)和业界内很小的压电马达NSD-2101驱动IC(1.8x1.8mm)。集成到定制模块上可以提供之前难以想象的运动性能。 超小型平移台(亚微米,15mm,已集成电路)

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微型二维压电马达线性平移台

上海昊量光电设备有限公司推出的二维平移台主要是为在计量学中样品的精确操控和显微镜等应用而设计的。推出的二维平移台主要分为以下两种。1).紧凑型二维压电马达平移台AUXY-XLS 2).大推力二维压电平移台AUXY-XSS 微型二维压电马达线性平移台

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