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皮米精度位移测量仪

昊量光电推出的皮米精度位移测量仪quDIS是低至纳米范围位移测量的理想仪器,达到了前所未有50pm的重复精度。quDIS支持三个测量通道,使其可以适用于任意多轴测量应用。皮米精度位置测量仪同样采用激光干涉法,不过与传统激光干涉仪相比,其集成了法珀腔(Referencecavity)及饱和吸收气室(GC)作为频率校准参考,通过激光波长调谐扫描,比较两种不同的干涉图样,可以实现其它设备所不具有的绝对

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